PSA kyslíkový generátor pro polovodič

V kontextu extrémně vysokých požadavků na čistotu a stabilitu plynu polovodičové výroby používá generátor kyslíku PSA a využívá technologii Adsorpce tlaku (PSA), používá vzduch jako surovinu a využívá rozdílu v adsorpční kapacitě plynu při různých tlacích při různých tlacích kyslíku. Generátor kyslíku může vydávat kyslík s přesnou čistotou a stabilním tokem a splňovat přísné požadavky na kyslík ve všech aspektech polovodičové výroby od zpracování oplatky po balení čipu. Zařízení má vysoký stupeň automatizace, může fungovat stabilně po dlouhou dobu, snižovat náklady na provoz a údržbu a může flexibilně upravit různé parametry tak, aby vytvořilo spolehlivé, efektivní a ekonomické řešení pro dodávku kyslíku pro výrobce polovodičů, což pomáhá polovodičovému průmyslu zlepšit účinnost produkce a kvalitu produktu.

Odeslat dotaz

Popis

Technické parametry

Proč polovodičový průmysl potřebuje generátory kyslíku PSA?

Přívod plynu s vysokým obsahem čistoty:Polovodičová výroba má přísné požadavky na čistotu plynu a vysoce čistý kyslík je nezbytný pro litografii, čištění a další vazby. S pomocí technologie Adsorpce tlakového houpání produkuje generátor kyslíku PSA kyslík s čistotou 95%± 3%, což splňuje požadavky tvorby oxidové vrstvy a čištění oplatky a zabraňuje riziku kontaminace nečistoty v tradičním přísunu kyslíku plynu.
Zajistěte stabilitu procesu:Produkční linky polovodiče vyžadují kontinuální a stabilní přívod plynu. Generátor Oxygen PSA používá pro alternativu práce s dvojitou adsorpční věže a prostřednictvím inteligentního ovládání PLC může dosáhnout 24- hodin nepřetržitého přívodu kyslíku, zabránit přerušení výroby způsobené manuální výměnou lahví a přizpůsobit se procesům citlivé na tlak vzduchu, jako je depozice tenkého filmu a leptání.
Snižte náklady a optimalizujte prostor:Ve srovnání s nádržemi na skladování kapalného kyslíku a vysokotlakými plynovými válci produkují generátory kyslíku PSA kyslík na místě, což výrazně snižuje náklady na přepravu a skladování. Má malou stopu a podporuje modulární rozšíření, která splňuje potřeby maximalizace využití prostoru v čistých dílnách polovodičových továren. Náklady na dlouhodobé použití jsou asi o 20% nižší než tradiční metoda.
Přizpůsobit se speciálním procesům:V pokročilých procesech některé speciální procesy vyžadují přesnou kontrolu koncentrace kyslíku. Generátor kyslíku PSA může flexibilně upravit čistotu výstupu kyslíku (95%-99 9%) úpravou adsorpčního tlaku a poměru molekulárního síta, aby splňoval speciální procesní požadavky na výrobu paměti 3D NAND Flash.
Ekologické a snadno udržovatelné:Technologie PSA nevyžaduje chemická činidla a proces výroby kyslíku nevyvolává škodlivé látky, které splňují standardy ochrany životního prostředí v polovodičovém průmyslu. Zařízení používá nerezovou ocel a samočisticí molekulární síta s potravinami s cyklem údržby až 3-5 let a je vhodné pro výrobní prostředí s vysokou čistotou.

Bezplatná konzultace

Why Does The Semiconductor Industry Need PSA Oxygen Generators?

kategorie	Podrobnosti o parametru
Čistota kyslíku	93% -99. 5% (filtrační systém ULPA lze přizpůsobit, obsah nečistoty menší nebo rovný 1ppb)
Výstupní tlak	0. 5-1. 5MPA (Nastavitelné, přizpůsobené standardu přívodu vzduchu polovodičového zařízení)
Rozsah toku	10-5000 nm³/h (podporuje paralelní rozšíření více jednotek)
Dew Point	Menší nebo rovna -70 stupni (aby se zabránilo vodní páře znečišťovat procesní prostředí)
Energetická účinnost	Méně nebo rovné 0. 38KWH/NM³ (vysoce účinná proměnná frekvenční pohon, úspora energie více než 30%)
Úroveň hluku	Méně nebo rovné 65 dB (struktura s nízkým vibracím + zvukovou shell, v souladu s standardy čisté místnosti třídy 1000)

Základní výhody generátoru kyslíku PSA

99% PSA Oxygen Generator For Gold Mining

Ultra vysoká záruka čistoty
Dvouvrstvé molekulární sítové sítové ložisko a katalytická oxidační jednotka se používají k hlubokému odstranění nečistot, jako jsou uhlovodíky a CO₂, a čistota kyslíku dosahuje více než 99,5%, přičemž splňuje standard semi F20. Vestavěný online analyzátor v reálném čase, synchronizace dat s továrním systémem SCADA, aby byla zajištěna stabilita procesu.

Inteligentní kontrola a redundantní design
Integrovaný řídicí systém PLC+HMI, podporuje vzdálené monitorování, self-diagnostiku poruchy a nouzové přepínání (redundantní adsorpce dvojité věže). Technologie automatické kompenzace tlaku, aby se vyrovnala s okamžitým vysokým tokem poptávky po polovodičovém vybavení.

Roztok pro úsporu energie s nízkým obsahem uhlíku
Synergická technologie VPSA (adsorpce vakuového tlaku) snižuje spotřebu energie a šetří 15% -20% energie ve srovnání s tradičním modulem pro zotavení tepla odpadního odpadu za účelem snížení tepelného zatížení dílny.

Kompatibilita čisté místnosti
Veškerý průtokový kanál z nerezové oceli + nano povlak, aby se zabránilo kontaminaci kovových iontů; Návrh těsnění nulového úniku, prošel certifikací ISO 8573-1 class 0.

Typy kyslíkových rostlin PSA

Modulární vybavení

Twin Tower Equipment

Kontejnerované vybavení

				Výběr generátoru kyslíku NTK95
Žádný.	Modely	Kapacita (NM3/h)	Čistota	Spotřeba energie Produkoval 1nm3 kyslík (KW/H)	Počet lahví Floled za 12 hodin (PCS)	Operátor potřeboval
1	Ntk 95-5 p	5	95%+-1%	3.54	10	2
2	Ntk 95-10 p	10	95%+-1%	2.52	20	2
3	Ntk 95-15 p	15	95%+-1%	2.31	30	2
4	Ntk 95-20 p	20	95%+-1%	2.13	40	2
5	Ntk 95-25 p	25	95%+-1%	2.01	50	2
6	Ntk 95-30 p	30	95%+-1%	2.09	60	2
7	Ntk 95-40 p	40	95%+-1%	1.81	80	2
8	Ntk 95-50 p	50	95%+-1%	1.94	100	2
9	Ntk 95-60 p	60	95%+-1%	1.62	120	2
10	Ntk 95-80 p	80	95%+-1%	1.92	160	2
11	Ntk 95-100 p	100	95%+-1%	1.83	200	2

FAQ

1. Jak vysoká může být čistota kyslíku a splňuje požadavky na výrobu polovodičů?
Náš generátor kyslíku PSA pro polovodiče může rutinně produkovat kyslík s čistotou 95%± 3%. U některých procesů, které vyžadují extrémně vysokou čistotu kyslíku, může být úpravou parametrů zařízení, čistota výkonu kyslíku může být flexibilně kontrolována v rozsahu 95% - 99 9%, plně splňovat přísné požadavky na čistotu plynu v jádrových spojení

2. Jak stabilní je zařízení a může zajistit nepřetržitý provoz výrobní linky polovodiče?
Zařízení přijímá dvojitou adsorpční věž střídavý pracovní režim, kombinovaný s inteligentním řídicím systémem PLC, k dosažení 24- hodiny nepřetržitého a stabilního přívodu kyslíku. Tento automatizovaný provozní režim se vyhýbá přerušení dodávky plynu způsobené manuální výměnou lahví, poskytuje spolehlivé a stabilní dodávky plynu pro procesy, jako je depozice tenkých filmů a leptání, které jsou citlivé na tlak vzduchu, a účinně snižuje riziko přerušení výroby způsobené problémy s dodávkou plynu.

3. Jaké jsou náklady na použití ve srovnání s tradičními metodami dodávky kyslíku?
Ve srovnání s nádržemi na skladování kapalného kyslíku nebo vysokotlakými plynovými válci přijímá náš generátor kyslíku PSA na místě produkční režim kyslíku na místě, který výrazně šetří přepravu kyslíku a náklady na skladování. Zařízení zabírá malou plochu a může být modulární rozšířeno, čímž se sníží náklady na pronájem na místě. V dlouhodobém horizontu jsou náklady o 20% nižší než tradiční metoda dodávky kyslíku, což výrazně šetří provozní náklady.

4. Je údržba zařízení komplikovaná? Jak dlouhý je cyklus údržby?
Zařízení se snadno udržuje pomocí potravinářské nerezové oceli a samočisticí molekulární síta, což výrazně snižuje pracovní zátěž. Za normálních okolností je cyklus údržby až 3-5 roky a jsme vybaveni profesionálním týmem po prodeji, abychom poskytovali technickou podporu kdykoli, abychom vám pomohli vyřešit problémy během provozu zařízení.

Sjeďte nyní a zajistěte si dodavatelský řetězec kyslíku

✅ Přizpůsobená řešení:
Řekněte nám kapacitu postele a špičkovou poptávku po návrhu na míru.
✅ Rychlé dodání:
Předběžné moduly dodávané v 8-12 týdnů.
✅ Možnosti financování:
Dostupné plány na vlastní příjem.

Telefonní číslo

+86 15888864725

Číslo whatsapp

+86 15888864725

E-mail

sales@newtek-group.com

NEWTEK