Vývoj VPSA Oxygen Plant Development

V roce 1891 začala německá společnost Linde pracovat na zkapalňování vzduchu v laboratoři podniku na výrobu chladicích strojů.
V roce 1895 profesor Linde vyrobil první zařízení na kapalný vzduch využívající Joule-Thomsonův efekt.
V roce 1901 založil Linde v Mnichově závod na výrobu kryogenních zařízení.
V roce 1902 bylo dokončeno zařízení na separaci vzduchu pro první jednostupňovou rektifikační věž navrženou Lindem. Francouzský Kraut vynalezl expanzní stroj a založil v Paříži společnost Air Liquefaction.
V roce 1903 vyrobila společnost Linde první průmyslový generátor kyslíku o výkonu 10 m3/h pomocí vysokotlakého procesu škrcení.
V roce 1910 Francie vyrobila první generátor kyslíku o výkonu 50 m3/h pomocí středotlakého procesu s pístovým expanzním strojem.
V roce 1920 vynalezl Hyland v Německu vysokotlaký proces výroby kapalného kyslíku pomocí vysokotlakého expanzního stroje.
V roce 1924 Frankel navrhl, že ve velkých zařízeních na separaci vzduchu by se měly místo běžných výměníků tepla používat chladiče plněné kovem.
V roce 1926 Frankel navrhl běžnou formu studeného akumulátoru.
V roce 1930 Linde vyrobila první průmyslovou jednotku Linde Frankel s výkonem 255 m3/h a čistotou 99,5 procenta O2.
V roce 1932 byl turboexpandér poprvé použit na jednotce Linde-Frankel. Kyslík byl poprvé použit v metalurgii a syntéze amoniaku v Německu.
V roce 1939 vytvořil Sovětský svaz vysoce účinný turboexpandér a začal studovat úplné nízkotlaké zařízení na separaci vzduchu.
V roce 1947 se Linde věnovala průmyslovému zařízení na výrobu kyslíku s plným spodním tlakem. Sovětský svaz začal navrhovat velké průmyslové kyslíkové elektrárny s plně nízkotlakými procesy.
V roce 1949 Spojené státy poprvé v 29000 m3/h kyslíkového generátoru na použití deskového výměníku tepla.
V roce 1952 Rakousko poprvé použilo čistý kyslíkový konvertor k výrobě oceli, což vedlo k prudkému nárůstu metalurgického kyslíku.
V roce 1955 Spojené státy energicky vyvinuly rakety a spotřebovaly velké množství kapalného kyslíku jako urychlovače.
V roce 1957 byl vyroben první automaticky provozovaný generátor kyslíku o výkonu 120 t/den.
V roce 1960 Japonsko dokončilo 10 000 m3/h99,6 procent O2 a 10 000 m3/h99,99 procenta N2 dvojité vysoce čisté velkokapacitní nízkonapěťové zařízení.
V roce 1972 Francie vytvořila největší světovou kapacitu zařízení na separaci vzduchu s čistým kyslíkem: 1700 tun O2/den a 1500 tun N2/den.
Větší jednotky jsou stále ve studiu.